現在、おもに現場で使われる清浄度の規格は「米国連邦規格(Fed.Std)」です。
1立方フィート(≒30cm)内に存在する、0.5㎛以上の粒子の数によって、
分類わけされます。
現在、米国連邦規格から国際統一規格 ISO(14644-1)へ移行中です。
それぞれのクラスは以下の通り対応しています。
ISO Class3・・・Fed Class1
ISO Class4・・・Fed Class10
ISO Class5・・・Fed Class100
ISO Class6・・・Fed Class1,000
ISO Class7・・・Fed Class10,000
ISO Class8・・・Fed Class100,000
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