クリーンルームの清浄度について

更新日:2021年5月29日


現在、おもに現場で使われる清浄度の規格は「米国連邦規格(Fed.Std)」です。

1立方フィート(≒30cm)内に存在する、0.5㎛以上の粒子の数によって、

分類わけされます。


現在、米国連邦規格から国際統一規格 ISO(14644-1)へ移行中です。

それぞれのクラスは以下の通り対応しています。


ISO Class3・・・Fed Class1

ISO Class4・・・Fed Class10

ISO Class5・・・Fed Class100

ISO Class6・・・Fed Class1,000

ISO Class7・・・Fed Class10,000

ISO Class8・・・Fed Class100,000


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